Unidad de bomba molecular tubular de alto vacío de tres vías ISO3666 Caudal de bombeo molecular: 600 l/s Presión máxima: ≤1,5 ​​× 10⁻⁵Pa

Unidad de bomba molecular tubular de alto vacío de tres vías ISO3666 Caudal de bombeo molecular: 600 l/s Presión máxima: ≤1,5 ​​× 10⁻⁵Pa

Introducción del producto

Como equipo clave para la ingeniería de vacío y el procesamiento a alta temperatura, el VET-004 supera la limitación tradicional de una sola estación y adopta un diseño paralelo de tres vías: cada horno tubular tiene un diámetro de φ120 mm y su temperatura se puede controlar de forma independiente (temperatura ambiente - 1200 ℃). Está equipado con una bomba molecular de 600 L/s y una bomba de paletas rotativas de 9 L/s para lograr un rápido establecimiento de vacío desde la presión atmosférica hasta un nivel de 10⁻⁵Pa en 30 minutos. El equipo permite la monitorización en tiempo real de múltiples parámetros, como el grado de vacío, la temperatura y el caudal de gas, e incorpora un sistema de enlace inteligente. Cuando el grado de vacío es inferior al umbral, el mecanismo de protección se activa automáticamente para garantizar la estabilidad y repetibilidad de las reacciones del material en entornos de alta temperatura. Es una opción ideal para laboratorios universitarios, centros de I+D corporativos y líneas de producción de fabricación de precisión.

Características del producto

Procesamiento paralelo de tres vías: controla de forma independiente hornos tubulares de tres vías, admite el funcionamiento simultáneo de procesos con diferentes temperaturas y grados de vacío y aumenta la eficiencia en un 300 %.

Rendimiento de vacío ultra alto: escape combinado de bomba molecular + bomba de paletas rotativas, presión máxima ≤1,5 ​​× 10⁻⁵Pa, que cumple con los estrictos requisitos de vacío de deposición de película delgada, crecimiento de cristales, etc.

Control de temperatura preciso: cada horno tubular está equipado con un controlador de temperatura inteligente PID, con una precisión de control de temperatura de ±1 ℃ y admite la configuración libre de la velocidad de calentamiento de 0 a 20 ℃/min.

Diseño modular: La bomba molecular y la bomba de paletas rotativas se pueden desmontar para mantenimiento, y el tubo del horno tubular admite un reemplazo rápido, lo que reduce el tiempo de inactividad y los costos de mantenimiento.

Sistema de protección de seguridad: alarma de sobrecarga de alta temperatura, apagado por enclavamiento por fuga de vacío y diseño anti-escaldado de la carcasa del horno para garantizar la seguridad operativa.

Adaptación de fuente de múltiples gases: la interfaz de entrada de aire de 3 vías está reservada (compatible con argón, nitrógeno, hidrógeno, etc.), compatible con el medidor de flujo másico MFC para controlar con precisión el flujo de gas.

Norma de referencia internacional

ISO 3666:2015 "Tecnología de vacío - Vacuómetro - Parámetros de rendimiento y métodos de calibración": La calibración de precisión de los sensores de vacío cumple con los estándares internacionales para garantizar la confiabilidad de los datos de presión.

ASTM E2149-13 "Método de prueba para la tasa de desgasificación de materiales en condiciones de vacío dinámico": admite la función de detección de la tasa de desgasificación del material y cumple con los requisitos de prueba de compatibilidad de vacío de los materiales aeroespaciales.

IEC 61010-1:2010 "Requisitos de seguridad para equipos eléctricos de medición, control y uso en laboratorio": El sistema eléctrico ha pasado la certificación de protección contra sobrecargas y detección de fallas a tierra y cumple con las normas de seguridad de laboratorio.

GB/T 16800-2012 "Tecnología de vacío - Brida de ultra alto vacío": La interfaz de la tubería adopta una brida de ultra alto vacío CF35 y el rendimiento de sellado alcanza un nivel de tasa de fuga de 10⁻⁹Pa・m³/s.

Uso del producto

Investigación en ciencia de materiales: crecimiento de nanotubos de carbono, deposición de películas de grafeno, recocido al vacío de aleaciones metálicas

Fabricación de semiconductores: secado al vacío a nivel de oblea, desgasificación de chips LED antes del envasado

Nuevo campo energético: sinterización de materiales de electrodos de baterías de litio, síntesis al vacío de electrolitos de baterías de estado sólido

Análisis y pruebas: evaluación de la actividad del catalizador (prueba de adsorción/desorción de gas en entorno de vacío)

Universidades e instituciones de investigación: experimento de comparación de múltiples estaciones, enseñanza de simulación de entornos de vacío de alta temperatura

Parámetros técnicos

Objetos de prueba y elementos de prueba

Objetos de prueba

Revestimiento de hornos tubulares y componentes de sellado

Obleas semiconductoras, obleas de silicio fotovoltaicas, sustratos cerámicos

Materiales en nanopolvo (como óxido de grafeno, MOF de estructuras orgánicas metálicas)

Muestras de aleación de alta temperatura, muestras de material superconductor

Elementos de prueba

Tiempo de establecimiento del vacío: tiempo necesario para bombear desde la presión atmosférica a 10⁻³Pa/10⁻⁵Pa

Uniformidad de temperatura: distribución axial de la temperatura del horno tubular (dentro de ±5 ℃ está calificado)

Tasa de desgasificación del material: volumen de desgasificación por unidad de área de la muestra en un entorno de vacío de alta temperatura.

Fiabilidad del sello: tasa de fuga en la conexión de brida CF (≤1×10⁻⁹Pa・m³/s)

Eficiencia de la bomba molecular: prueba de estabilidad de la velocidad de bombeo en diferentes rangos de vacío (sección de vacío bajo/alto)