La unidad de bomba molecular de alto vacío con horno tubular de tres vías VET-004 está especialmente diseñada para el procesamiento de materiales en múltiples estaciones y ensayos en entornos de vacío. Integra una bomba molecular de alta eficiencia de 600 L/s y tres hornos tubulares independientes. Admite un vacío máximo de ≤1,5 ​​× 10⁻⁵Pa y una operación colaborativa a alta temperatura de 1200 °C. Es adecuada para la investigación, el desarrollo y la producción de procesos de alto vacío en las áreas de semiconductores, nuevas energías, nanomateriales, etc.