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espectrómetro de masas de helio detector de fugas fue desarrollado en la década de 1940. Después de más de medio siglo de aplicación y desarrollo, ha logrado logros brillantes. Se puede decir que está en todas partes, desde la industria aeroespacial, militar, la ingeniería científica, la industria nuclear hasta la industria ligera, el tratamiento médico, la instrumentación, el automóvil y la refrigeración. Detección de fugas de vacío tiene dos vertientes en cuanto a su desarrollo, es decir, por un lado, la detección de fugas instrumento en sí, y por otro lado, el desarrollo de detección de fugas tecnología.
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